高精度掃描聲學顯微鏡

Name: 高精度掃描聲學顯微鏡
SKU: KSI V300E
Availability: InStock

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公司名稱深圳市順心科技有限公司
品牌
型號KSIV300E
所在地深圳市
廠商性質其他
更新時間2024/3/12 21:42:29
訪問次數171

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公司介紹主營產品

深圳市順心科技有限公司(簡稱順心科技，英文名“IntlFine”：集品質產品服務好每一個客戶)，公司成立于2016年，是一家專業提供實驗室耗材、實驗室分析/測試、品質管控等優質進口檢測設備及解決方案提供商。公司擁有經驗豐富的檢測設備銷售人員，同時有多名10年以上工作經驗的實驗室高級管理人員、高級工程師加盟，不僅能為客戶提供高質量的產品，更能為客戶提供優質、高效的售前售后解決方案。以專業服務和優良品質，深受廣大用戶的好評。近年來公司大力加強與半導體、新能源、新材料等專、精、特、新的的深度合作。服務客戶有：華為海思、冠宇集團、木林森集團、利亞德集團、光大集團(中麒光電、光鈦科技）、貝特瑞集團、中科院深圳*研究院、山西大學等等，我們將繼續朝著專業化、精細化、特色化的方向奮斗。

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KSI V300E是一款高產能超聲波聲學顯微鏡，可以對塑封集成電路IC、IGBT大功率模組，各型電容、以及銅基板器件進行無損檢測，分析器件內部之分層、裂縫、空洞等缺陷。

高精度掃描聲學顯微鏡產品信息

KSI介紹

KSI 品牌是由德國的 Klaus Kraemer 博士所創立，Klaus Kraemer 博士是是歐洲聲學顯微技術的，從 1984 年開始一直到現在，近 30 年來，不斷推進高分辨聲學檢測技術的創新，為半導體、復合材料、生物醫學領域，提供聲學檢測裝備和訂制化的技術解決方案。Klaus Kraemer 博士本人則堪稱歐洲高分辨聲學檢測技術歷史的活化石。

KSI 公司一直專注于聲學顯微基礎技術的研究與開發，目標是朝更高精度、更高分辨率、更大的產能、設備更加、更加耐用方向發展。這也非常符合德國人作風，專注、專業、一輩子只做好一件事。 2009 年開發的 FCT 低噪探頭技術，能極大地壓制探頭在水中運動掃描時所產生的水花，顯著提高聲學圖像的品質，并使設備能夠持續在高速狀態下進行工作，而不會由于巨大的水花而導致對測試結果的誤判。近年來推出的全新一代 v 系列聲學顯微系統，靈敏度可以達到 0.3 微米。在噪聲控制、弱信號處理技術更上一個新臺階，不需要外置濾波器即可對晶圓級的缺陷進行高分辨檢測，既讓圖像更清晰，又不遺漏微缺陷。這也是 Ksi 公司多年專注于超聲基礎技術研發的基礎上取得的進展。

產品優勢

掃描范圍適中：300mm x 300mm；
磁懸浮超高速機型；
掃描速度：2米/秒；
掃描加速度：30米/秒；
KSI一臺機器相當于常規機器2臺的工作量。(常規機器小于1米/秒)；
高掃描重復精度：+/-0.1微米（常規機器只能做到0.5微米）；
低噪防誤判探頭（常規機器沒有，無法在高速掃描時去除水花導致的誤判）。

技術指標

一、掃描機械機構

(1) X、Y軸都是由高精度磁懸浮直線電機驅動

(2) X、Y軸一次掃描行程范圍：300mm×300mm（上限可以做到305mm x 305mm）

(3) X、Y軸一次最小掃描行程范圍：0.2mm×0.2mm

(4) 掃描速率：2000mm/s，掃描加速度30m/s2

(5) X、Y軸掃描重復精度±0.1um

(6) Z軸是高精度自鎖步進電機，行程：100mm

(7) Z軸電機重復精度：± 0.25μm

二、掃描模式

(1) 點波形(A-Scan)

(2) 縱剖掃描(B-Scan)

(3) 橫剖掃描(C-Scan)

(4) 斜剖掃描（D-Scan）

(5) 等間隔多層橫剖掃描(X-Scan)

(6) 自定義多層橫剖掃描，可獨立設置不同層面的厚度等參數

(7) 透射掃描

(8) 順序掃描、托盤掃描、高質量掃描、表面跟蹤掃描、全息掃描（實體掃描）

(9) 其它

三、脈沖信號收發器和換能器

(1) 掃描工作模式：單通道工作模式

(2) 脈沖信號收發器帶寬：5MHz～550MHz

(3) 總增益：150dB

四、主要功能

(1) 測試被測工件內部缺陷，如空洞、分層、裂縫、異物等；

(2) 掃描圖像模板功能，輕松獲得參數一致的聲學顯微圖像；

五、其它指標

(1) 保存圖像格式：JPG、BMP、SAM(sam是原廠圖像格式)；

(2) 圖像采樣像素：32000×32000像素，可以自定義輸入圖像分辨率或單個像素尺寸，由設備自動計算所用的圖像分辨率。

選配組件

序號	名稱	部件編號	說明	選配請打v
1	透射掃描模組	TT-kit	含透射接收探頭一個、透射樣品臺、其它透射結構件
2	Jedec樣品架	Jedec Tray	Jedec Tray
3	晶圓樣品臺	Wafer Chunk	Samplestage with wafer chuck
4	真空吸盤樣品臺	Universal Vacuum sample stage	Universal Vacuum-Sample-Stage, incl： -Vacuum Pump21qm/h -Water Absorber & Cycling System- Tubes & Cables
5	三維超聲CT成像軟件	KSI 4D software	-Four dimensional sample viewing and analyzing -Free rotatable in all axis -Overview of all layers in extra window
6	高分辨濾波器	HTE	Hilbert Transformation Envelope
7	常規探頭	5MHz	conventional probe with different focal length
8	常規探頭	15MHz	conventional probe with different focal length
9	常規探頭	20MHz	conventional probe with different focal length
10	常規探頭	30MHz	conventional probe with different focal length
11	常規探頭	40MHz	conventional probe with different focal length
12	常規探頭	50MHz	conventional probe with different focal length
13	常規探頭	75MHz	conventional probe with different focal length
14	常規探頭	100MHz	conventional probe with different focal length
15	常規探頭	110MHz	conventional probe with different focal length
16	常規探頭	125MHz	conventional probe with different focal length
17	常規探頭	150MHz	conventional probe with different focal length
18	常規探頭	230MHz	conventional probe with different focal length
19	低噪探頭	300MHz	conventional probe with different focal length
20	低噪探頭	320MHz	conventional probe with different focal length
21	聲學物透探頭	200MHz	Acoustic Objective 200MHz, 60 degree angle
22	聲學物透探頭	400MHz	Acoustic Objective 200MHz, 60 degree angle