全息數字顯微鏡

全息數字顯微鏡的縱向精度是由激光的本征波長來校準的，因此提供了激光干涉級別的高精度和高可重復性的量測數據。縱向分辨率達到了亞納米，橫向分辨率則由所選物鏡決定。

另外得益于對所記錄全息圖的*數字重建運算，DHM® 可數值選取所需聚焦的像面(數字自動聚焦)。這一功能也允許用戶在數據記錄后重新尋找聚焦像面，而無需再調整樣品實際高度。

全息數字顯微鏡

反射式數字全息顯微鏡(DHM® -R)，非掃描非接觸無損測量，顯示靜態和動態三維形貌，表征周期振動。

的速度，*創新的技術

超高速記錄動態三維形貌：
DHM® 采用非掃描機制，采集單幀圖像既能記錄樣品表面三維形貌，因此擁有其他技術無法匹敵的圖像采集速度。使用標準相機采集速度為視頻速率30幀/秒，而高速相機可以達到1000幀/秒，使得以下應用變為可能：
研究可形變樣品三維動態響應
表面大區域掃描分析
高產量常規檢測
生產線在線三維形貌捕捉

MEMS測振分析，高可達25MHz
頻閃模塊(可選配件)可同步DHM® 測量時激光脈沖與 MEMS器件的激勵信號，獲取振動周期內的全視場振動模態。 這些*的分析數據可提供以下信息：
三維形貌時序圖
頻率共振分析和響應分析
面內面外振幅分析(面內振幅測量精度1nm，面外振幅測量精度5pm)
復雜運動表征，振動模態表征，樣品動態三維形貌

多種可控環境下測量
*的光學原理和光路設計使得DHM® 能夠滿足使用者在各種環境下的測量需求，提供靈活和便利的測量體驗：
透過玻璃(蓋玻片、載玻片、玻璃窗口)或者浸潤液
觀測環境控制箱或真空腔內部樣品，可改變環境參數，比如溫度、濕度、氣壓、氣體成分等