于檢測半導體特氣的微量泄漏。
采用聲光報警。
規格
| 型 號 | XP-703D |
| 檢測對象氣體 | 半導體材料氣體(胂、膦、、硅烷、氫氣等) |
| 檢測原理 | 熱線型半導體式 |
| 采樣方式 | 自動吸引式 |
| 可檢測濃度 | 砷烷 磷烷 硅烷 氫氣 |
| 檢測表示 | 蜂鳴器斷續鳴響及指示燈閃爍 |
| 應答速度 | 10秒以內 |
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| 型 號 | XP-703D |
| 檢測對象氣體 | 半導體材料氣體(胂、膦、、硅烷、氫氣等) |
| 檢測原理 | 熱線型半導體式 |
| 采樣方式 | 自動吸引式 |
| 可檢測濃度 | 砷烷 磷烷 硅烷 氫氣 |
| 檢測表示 | 蜂鳴器斷續鳴響及指示燈閃爍 |
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