FS系列半導體參數測試系統

FS-Pro 系列是業界的人工智能驅動的一體化半導體參數測試系統，單臺設備具備IV， CV 與 1/f noise 測試能力，內建的AI算法加速技術全面提升測試效率。業界低頻噪聲測試黃金系統9812DX和 FS-Pro 的融合使兩個產品不但功能更加完整，性能也都有大幅提升。FS-Pro可廣泛應用于半導體典型器件、LED材料、二維器件、金屬材料、新型材料與器件測試。FS-Pro可支持達上百個通道。內置測量軟件提供數百個預定義的測試模板和功能，實現即插即用體驗。基于在產線測試與科研應用方面的優異表現，FS-Pro不僅被多家的設計公司和半導體代工廠，IDM和設計公司采用，在學術界也受到廣泛認可，已被數十所大學及研究機構所采用。

產品優勢：

一體化： 業界集成IV測試、CV測試、低頻噪音（1/f noise）于單臺儀器中，無需換線和更新連接即可完成全部低頻參數化表征。

超快速：FS-Pro系列較傳統半導體參數測試系統，其測試速度高達10倍，業界AI測試加速卡，體驗*速度提升，同時保持測試精度。

模塊化架構：PXI模塊化架構，可輕松擴展支持生產測試（如 WAT），輔以其高速和完整特性，可以大幅加速量產測試。

操作便捷：內置測量控制軟件LabExpress™，擁有直觀的用戶圖形界面，僅需點擊幾下鼠標就可以完成*的器件特性分析功能?？蛇x工業級測試軟件FastLab， 支持自動探針臺，第三方儀器和SRAM，可靠性測試等工業測試需求。

寬量程：高達200V，1A（脈沖3A），0.1fA的靈敏度。

建模仿真：可選內置器件建模與仿真軟件（BSIMProPlus/MeQLab/NanoSpice），形成測試，建模仿真系統。

作為9812DX的增強選件：作為內建SMU模塊無縫適配9812DX和NoiseProPlus軟件，其更低的SMU噪聲和更快的DC測試速度顯著加速了9812DX的測試速度

產品應用：

可應用于半導體典型器件、LED材料、二維器件、金屬材料、新型材料與器件測試。FS-Pro可支持達上百個通道。內置測量軟件提供數百個預定義的測試模板和功能，實現即插即用體驗。

IV電流電壓測試。

CV電容電壓測試。

1/f noise低頻噪音測試。

Pulse脈沖生成。

技術指標：

IV電流電壓測試：

高精度參數測量 ，電壓200V， 分辨率0.1fA，電流測量精度30fA，直流電流1A，脈沖電流3A。

CV電容電壓測試：

內建CV頻率范圍10Hz~10kHz，最小可測電容20fF，直流偏置電壓200V。外置LCR提供高精度（10fF@2MHz，內建直流偏置40V）和高帶寬（8MHz）兩個選項，同時軟件支持第三方工業主流LCR，如E4980A，428x系列等。

1/f noise低頻噪音測試：

帶寬：0.001Hz-100KHz

噪音分辨率： 2e-28A2/Hz

測量速度： 《10秒鐘/偏置（f》0.5Hz）

DUT最小阻抗：500歐姆

DUT直流偏置和電流：200V， 1A

Pulse脈沖生成功能：

電壓范圍±200V， 最小脈寬50us，最小分辨率100nV