日立 FT110A X射線熒光鍍層厚度測(cè)量?jī)x

概要：

自1978年以來取得傲人銷量的X射線熒光鍍層厚度測(cè)量?jī)x的第八代產(chǎn)品FT110A，在測(cè)量精度、操作性能、軟件上有新的優(yōu)化。

通過自動(dòng)定位功能，只需把樣品放在樣品臺(tái)上，便能在數(shù)秒內(nèi)自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)觀察樣品焦點(diǎn)，省略了以前手動(dòng)逐次對(duì)焦的操作，大幅提高了測(cè)量效果。

特長(zhǎng)：

1.自動(dòng)對(duì)焦功能 自動(dòng)接近功能
在樣品臺(tái)上放置各種高度的樣品時(shí)，只要高低差在80mm范圍內(nèi)，即可在3秒內(nèi)自動(dòng)對(duì)焦被測(cè)樣品。由此進(jìn)一步提高定位操作的便捷性。

●自動(dòng)對(duì)焦功能 簡(jiǎn)便的攝像頭對(duì)焦

●自動(dòng)接近功能 位置的對(duì)焦

2.通過新薄膜FP法提高測(cè)量精度

實(shí)現(xiàn)微小光束的高靈敏度，通過微小準(zhǔn)直器提高了膜厚測(cè)量精度。鍍層測(cè)量時(shí)間比本公司原有機(jī)型縮短了1/2。另外，針對(duì)檢測(cè)器的特性開發(fā)了新的EP法，可進(jìn)行無(wú)標(biāo)樣測(cè)量。測(cè)量結(jié)果可一鍵生成報(bào)告書，簡(jiǎn)單方便。

●新薄膜EP法

減少檢量線制作的繁瑣程度、實(shí)現(xiàn)了設(shè)定測(cè)量條件的簡(jiǎn)易化

無(wú)標(biāo)樣測(cè)量方法可進(jìn)行最多5層的膜厚測(cè)量

●自動(dòng)對(duì)焦功能和距離修正功能

凹凸落差的樣品可通過薄膜EP法做成的相同測(cè)定條件進(jìn)行測(cè)量

●靈敏度提高

鍍層測(cè)量時(shí)間比本公司原有機(jī)型縮短了1/2

●生成報(bào)告功能

一鍵生成測(cè)量報(bào)告書

3.廣域樣品觀察

對(duì)測(cè)量平臺(tái)（250mm*200mm）上放置的樣品拍攝一張靜態(tài)畫面后，可在獲取的廣域觀察圖像上指定狹域的觀察位置。由此，可大幅減少多數(shù)測(cè)量點(diǎn)位置的選取時(shí)間，以及在圖像上難以尋找的特定點(diǎn)位置的選定時(shí)間。

●廣域圖像觀察

輕松定位

型號(hào)名稱：FT-110A

測(cè)量元素：原子序數(shù)22（Ti）~83（Bi）

檢測(cè)器：比例計(jì)數(shù)管

X射線管：管電壓：50kV 管電流：1mA

準(zhǔn)直器：4種（Φ0.05mm、Φ0.1mm、Φ0.2mm、Φ0.025×0.4mm）

樣品觀察：CCD攝像頭（可進(jìn)行廣域觀察）

X-Ray Station：電腦、19英寸液晶顯示器

膜厚測(cè)量軟件：薄膜EP法、標(biāo)準(zhǔn)曲線法

測(cè)量功能：自動(dòng)測(cè)量、中心搜索

定性功能：KL標(biāo)記、比較表示

使用電源：220V/7.5A