SmarAct SGO角位移臺

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光纖光譜儀

德國SmarAct公司，專注于提供微納級精密運動控制和測量解決方案。利用其獨特的Stick-Slip驅動技術，*的激光干涉儀檢測技術，可提供從一維到多維乃至復雜的小型機器人系統，廣泛應用于光學、生命科學、微組裝系統、半導體和顯微鏡領域。

SmarAct SGO角位移臺產品信息

SmarAct角位移臺

SmarAct可提供各種半徑的SGO系列角位移臺

開環步進：0.7-7 μrad
壓電掃描范圍：10.5 μrad
壓電掃描精度：0.01 μrad
速度：4 °/s
垂直負載：500g
可選閉環驅動器及分辨率
- -M: 1.5 μrad(MCS控制器), 4.5 μrad(HCU/CU控制器)
- -L: 0.12 μrad(MCS控制器), 1.5 μrad(HCU/CU控制器)
- -S: 0.03 μrad/2μ°(MCS控制器)
高真空和超高真空選項：-HV(10^-6 mbar), -UHV(10^-11 mbar)
長壽命導軌選項：-Z