應(yīng)用范圍:反應(yīng)樣品表面三維形貌和局部物理特性,表征樣品表面的高度差、粗糙度及粘彈性等。
成像模式:接觸模式、動(dòng)態(tài)模式、相位模式、水平力模式(LFM)、力調(diào)制模式
分辨率:水平 0.2 nm,垂直0.01nm
掃描范圍:30μm×30μm×5μm
樣品要求:樣品直徑≤24 mm,表面高度差≤5 μm

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