4CCD半自動對位LED曝光機

4CCD半自動對位LED曝光機

型號：HSX-LEDM5

電力系統：AC220V1Φ 15A 8KW

光源系統：

1.光源：雙面LED掃面式光源

2.解析度：3.3mil

3.壽命：交機之日起保固三年

4.均勻度：>85%

Panel規格：

1.尺寸：305*355mm至546*622mm(12"*14"至21.5"*24.5")

2.厚度：0.1mm至3.0mm(0.004"至0.117")

曝光作業：高強度/雙面曝光

對位系統：

1.CCD數量：4個(可自行設定2只/3只CCD對位或底片監控）

2.清底片警報功能程序（片數科設定）

3.可選擇單面曝光/內層板模式

4.任取CCD取像判讀；固定取像CCD判讀

5.制程板對位：自動對位±15um

6.CCD移位：自動到位

7.底片固定：雙溝槽式真空吸附

2.底片對位：自動對位

機臺尺寸：

1.外部尺寸：L2330*W1545*H2270

2.環控箱：L1300*W700*H1930（外接進出水管管徑：1"排水：3/4 流量：40L/min)

潔凈控制：機臺使用 99.97%~99.99%HEPA Filter

LED光源監控：光源保護：LED燈源滅燈及故障檢知報警提示