設備參數:
1、測量范圍:0.1um~100um
2、測量精度:0.4%
3、測量重復性:±0.4nm
4、波長范圍:380nm~1100 nm
5、響應時間:5~500ms
6、測量光斑:1mm~30mm
7、動態掃描測量重復性:10nm
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