測量顯微鏡STM7

測量顯微鏡STM7

主動反射，共聚焦自動聚焦系統(tǒng)光路

隨著現(xiàn)代制造技術日益小型化和精密化，高精度測量也日趨重要——不僅是XY軸平面的測量，而且Z軸方向的高精度測量也成為必須。奧林巴斯成功開發(fā)了測量顯微鏡用采用主動反射、共聚焦方法的自動聚焦系統(tǒng)的公司，以此響應了這種與日俱增的需求。

測量顯微鏡STM7

測量顯微鏡溯源系統(tǒng)

奧林巴斯通過一個嚴格的可追溯系統(tǒng)控制測量顯微鏡的精確度。并且在安裝系統(tǒng)時奧林巴斯也提供了可追溯的校準服務。

STM7在設計上非常重視易用性

提供適合您樣品尺寸的載物臺

常見問題

短測量行程無法滿足較大樣品的測量需求。

目前為止，大型載物臺在X軸方向提供了足夠的測量行程，但是Y軸的行程仍然較小。在測量過程中需要通過旋轉樣品來補償比X軸覆蓋范圍要短的Y軸行程，這樣的做法費事費時，效率不高。

由于可測量的范圍窄，無法將數(shù)量較多的樣品排列在載物臺上，以實現(xiàn)一次性同時測量。

STM7解決方案

共有四種*的正方形測量行程的載物臺可供選用(50 mm x 50 mm, 100 mm x 100?mm,200 mm x 200 mm, 和300 mm x 300 mm)。 不管是大的樣品還是小的樣品，總有一款載物臺會適合您要測量的樣品。

采用離合器系統(tǒng)可以在粗調和微調之間實現(xiàn)快速切換。具備了這種切換功能之后，載物臺也可以沿著X軸和Y軸方向迅速移動，并且可以在XY平面上自由穿梭。

300mm長的方形載物臺在X軸和Y軸方向上可以提供相同的測量行程，這意味著可以不旋轉樣品就實現(xiàn)大型樣品的全部測量，比如300 mm的晶圓和印刷電路板。