Park NX20大樣品原子力顯微鏡

1概覽

The leading nano metrology tool for failure analysis and large sample research

作為一位失效分析工程師，您的任務是提供結果。而儀器所提供的數據不能允許任何錯誤的存在。Park NX20，這架精密的大型樣品原子力顯微鏡，憑借著出色的數據準確性，在半導體和硬盤行業中大受贊揚。

More powerful failure analysis solutions

Park NX20具備無二的功能，可輕易找出儀器失效的原因并幫助制定出更多具有創意的解決方案。的精密度為您帶來高分辨率數據，讓您能夠更加專注于工作。與此同時，True Non-Contact™掃描模式讓探針更鋒利、更耐久，無需為頻繁更換而耗費大量的時間和金錢。

Easy to use, even for entry level engineers

Park NX20擁有業界便捷的設計和自動界面，讓你在使用時無需花費大量的時間和精力，也不用為此而時時監督初級工師。借助這一系列特點，您可以更加專注于解決更為重大的問題并為客戶提供及時且富有洞察力的失效分析。

2技術信息

Accurate AFM Solutions for FA and Research Laboratories

Sidewall measurements for 3D structure study

NX20的創新構造讓您可以檢測樣品的側壁和表面，并能夠測量角度。眾多的功能和用途正是您的創新性研究和敏銳洞察力所的。

Surface roughness measurements for media and substrates

表面光潔度測量是Park NX20的關鍵應用之一，能夠帶來精確的失效分析和質量保證。

High resolution electrical scan mode

QuickStep SCM  的掃描式電容顯微鏡  

 PinPoint iAFM  無摩擦導電原子力顯微鏡

Accurate and Reproducible Measurements for Better Productivity

         Tip Wearing Experiment with CrN Sample

? 通過對比重復掃描情況下探針的形狀變化，您可以輕易看到Park的True Non-Contact模式的優勢之處。

                        Reproduce Best AFM Measurement

? 借助True Non-Contact模式，探針在掃描氮化鉻樣品（即探針檢測樣品）200次后仍可保持鋒利的狀態。氮化鉻的表面粗糙且研磨性強，會讓普通的探針很快變鈍。

Accurate AFM Topography with Low Noise Z Detector

True Sample Topography™ without piezo creep error

我們的原子力顯微鏡配有的低噪聲Z軸探測器，寬噪音帶寬僅有0.02 nm。這能夠帶來超精確的樣品形貌，不會受沿過沖影響，而且無需校準。這僅僅是Park原子力顯微鏡為您節省時間，帶來更好精確數據的方式之一。

3原子力顯微鏡模式

QuickStep SCM Mode

PinPoint Conductive AFM Mode

PinPoint導電原子力顯微鏡模式是針對探針和樣品之間的指定電接點而開發設計的。在電流采樣過程中，XY軸掃描器會依據用戶設定的接觸時間停止。PinPoint導電原子力顯微鏡模式能夠帶來更高的空間分辨率，且不受 側向力的影響，同時在不同樣品表面的電流測量也得到優化。

PinPoint Conductive AFM Mode

PinPoint導電原子力顯微鏡模式是針對探針和樣品之間的指定電接點而開發設計的。在電流采樣過程中，XY軸掃描器會依據用戶設定的接觸時間停止。PinPoint導電原子力顯微鏡模式能夠帶來更高的空間分辨率，且不受 側向力的影響，同時在不同樣品表面的電流測量也得到優化。

通過對比氧化鋅納米棒在不同類型的導電原子力顯微鏡圖像，我們可以看到相比輕敲式導電原子力顯微鏡，傳統的接觸式導電原子力顯微鏡有著更高精度的電流測量，但其分辨率低，原因在于探針在接觸中快速磨損。全新的PinPoint導電原子力顯微鏡不但空間分辨率更高，且電流測量也得到優化。

High-bandwidth, Low-noise Conductive AFM

導電原子力顯微鏡是各類元件研究的重要工具，特別是工業的失效分析。Park導電原子力顯微鏡在市場中競爭力，不但有著全行業的電流噪聲，且增益范圍也是。

? The lowest current noise 業內的電流噪聲(0.1 pA)

? 業內的電流(10 μA)

? 的增益范圍（7個數量級，103-109）