Park NX20-300半導體原子力顯微鏡

• NX20-300型半導體原子力顯微鏡簡介：

• 可用于 300mm晶片圓測量和分析的自動化納米測量工具

  Park NX20 300mm是業(yè)界大樣品原子力顯微鏡，支持300mm×300mm全程機動化。新升級的Park NX20系統(tǒng)專為失效分析和質量控制實驗室設計，可有效地檢測整個300mm晶圓，且無需任何繁瑣的樣品位移。盡管擴大了支持300mm樣品的機動XY工作臺，但Park的創(chuàng)新性振動隔離技術仍然能夠將系統(tǒng)噪聲保持在低于0.5 (?) RMS，通常是0.3 ? RMS的水平。

  經(jīng)檢驗的原子力顯微鏡性能和單擊-原子力顯微鏡自動化取消了樣本調整的需求，并使Park NX20的掃描過程盡可能高效和便于使用。通過我們的“批處理模式(Program Mode)”界面，用戶可以在整個300mmx300mm區(qū)域輕松實現(xiàn)可靠與可重復的順序多站點測量。NX20 300 mm從而成為需要掃描大樣品的FA、QA和QC工程師的。

• 專為大樣品晶圓檢測而建

  NX20 300 mm進行了全新設計，可達到大樣品的測量。整個300mm晶圓區(qū)域可進行低噪聲原子力顯微鏡測量分析。這開啟了一個全新的自動化測量范圍，讓工程師可以更快捷、更簡便、更精確地開展工作。

• 靈活的300mm樣品吸盤

  Park NX20 300mm真空吸盤支持各種尺寸、形狀和類型的晶圓，讓用戶幾乎可準確掃描任何樣品。

  

• 300mm XY軸工作臺

  機動化的300mm XY軸工作臺允許用戶在300mm的全部區(qū)域內移動原子力顯微鏡的測量位置。

  

• NX20 支持300mm樣品臺，性能已被證實

  因其的易用性和自動化以及不受影響的精度，NX20已是FA、QA和QC工程師的。憑借其支持300mm電動XY軸工作臺的擴大平臺，NX20 300mm更上一層樓，允許用戶輕松地以的精度檢測更大的樣品。

• 在完整300mm晶圓上掃描多個位點
  

  SmartScan™允許用戶從位點到位點和樣品到樣品的層面上，借助基于網(wǎng)格和晶圓的模式，進行自動順序測量與表面形態(tài)、高度和表面粗糙度的比較。這可以大大提高掃描大樣品時的用戶便利性和生產效率。

• *的工作創(chuàng)建功能

  格式創(chuàng)建流程簡單，允許工程師設置每個批次的位置、名稱、數(shù)量和類型所定義的預設。

• 針對廣泛應用性進行優(yōu)化

  NX20 300mm為眾多應用提供自動格式的原子力顯微鏡測量，為納米級的樣品提供高級測量和分析。具有粗糙度、高度和深度測量，缺陷檢查，電氣和磁故障分析，熱性能表征和納米力學性能成像等能力，該原子力顯微鏡是檢測大樣品的FA、QA和QC工程師執(zhí)行各種任務的理想選擇。

  
  

• NX20-300型半導體原子力顯微鏡技術特色：

  1）采用非接觸式工作模式：

  PARK公司是目前一家真正實現(xiàn)非接觸測量模式的原子力顯微鏡廠家，在不影響測量精度的前提下，可實現(xiàn)樣品與針尖的非接觸測量，避免了由于針尖磨損帶來測量重復性差與探針磨損快的缺點。

  

  下圖是測量CrN樣品的實例，CrN樣品的硬度很高，具有三角形結構，采用非接觸模式測量100幅圖后，圖像質量幾乎無變化，針尖幾乎無磨損！！！

  

 2）探測器噪聲水平為業(yè)界：0.02nm

          Z軸探測器是全新的NX系列原子力顯微鏡的核心技術改進之一,它是Park的新型應變傳感器,憑借著0.2埃的超低噪聲，它一躍成為行業(yè)內噪聲的Z軸探測器,檢測原子臺階及其容易。

3）采用高性能平板掃描器：采用技術得三軸分離的平板掃描器，在整個80μm的掃描范圍內誤差＜1nm !!!!

4）操作極其簡單：

        - 具有“智能掃描模式”Smart scan：這是PARK公司的技術之一，用戶只需要選擇掃描速度及掃描范圍，系統(tǒng)即可自動調整反饋,無需尋找共振峰,無需調整反饋參數(shù)gain值

       - 具有中文，英文等多種操作界面

       - 憑借著我們的預準直懸臂架，懸臂在裝載時激光便已完成聚焦。并且，自上而下的同軸視角（行業(yè)無二）讓您可以輕松地找到激光光點。由于激光垂直照射在懸臂上，您可以憑直覺旋動兩個定位旋鈕，將激光光點隨著X軸和Y軸移動。這樣，您可以在激光準直界面中，輕易地找到激光并將其定位在PSPD上。此時，您只需要稍作調整實現(xiàn)信號的，便可開始獲取數(shù)據(jù)。

   5）工業(yè)級別的XEA軟件：具有自動識別，自動掃描，自動分析功能，大大節(jié)約了人工操作的誤差及浪費的時間。

         6）導電原子力顯微鏡：

       Park導電原子力顯微鏡在市場中競爭力，不但有著全行業(yè)的電流噪聲，且增益范圍也是，并且可實現(xiàn)電流快速掃描功能，是半導體測試電流的標準。

         - 業(yè)內的電流噪聲(50fA)

        - 業(yè)內的電流(10mA)

• NX20-300型半導體原子力顯微鏡主要技術參數(shù)：

  - XY閉環(huán)掃描范圍大：達100μm*100μm

  - Z向閉環(huán)掃描范圍大：達15μm

  - 超高的測量分辨率：可達0.02nm

- 全自動掃描范圍：300mm*300mm

- 具有快速掃描功能：達50Hz

• NX20-300型半導體原子力顯微鏡部分測試實例：